Desenvolvimento e caracterização de novos sensores para muito altas temperaturas: determinação da densidade de filmes finos de metais depositados por evaporação (processo PVD)

Obtenção de filmes finos de platina, paládio e níquel pelo processo de PVD. Caracterização estrutural e dimensional dos filmes obtidos e estudos desses parâmetros até 1300ºC. A caracterização será feita por SEM, EDS, TEM, DEKTAK. Utilização dos novos fornos de altas temperaturas do laboratório 8.1.72; este trabalho envolve nalguns passos a colaboração, já existente, com os Departamentos de Física e de Geologia da FCUL e do INESC. Análise das incertezas associadas ao tratamento térmico dos filmes e cálculo da densidade dos filmes metálicos obtidos.

8.1.72

Maria José Lourenço, mjvl@fc.ul.pt

 

Actualizada a 2007-02-13